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离心式冷水机组离心式冷水机组是由离心式制冷压缩机、冷凝器、蒸发器、节流机构和调节机构以及各种控制元件组成的整体机组。离心式冷水机组的制冷量较大，常用的水冷式离心式冷水机组冷凝器进出水温分别设置为32℃、37℃，蒸发器出口冷冻水温度设置为7度，单机容量通常在1163kW以上，所以，离心式冷水机组一般用于大型***空调系统。其它净化方式：①负离子法:羟基负离子与空气中漂浮的***气体接触后，能还原来自大气的污染物质、氮氧化物、香1烟等产生的活性氧（氧自由基）、减少过多活性氧对***的危害。热泵机组的循环流程有几种形式，但不论何种，系统中除装有制冷系统中的四大元件外，还需装有四通换向电磁阀、单向阀等，使制冷剂的流动方向在制冷或制热状态时能得到控制。

100级洁净间的气流形式是层流方式，空气以均匀的断面速度沿同一水平方向流动，与流体力学的层流概念不太相同，垂直方向层流并且侧回风。和百级以上洁净间絮流方式(即空气以不均匀的速度呈不平行流线流动)相比较，它具有效果完全、运转迅速稳定、使得空气的尘埃粒子含量少，控制管理方便容易等优点，但是设备价格高令一些中小厂家难以承受，维护费用也很高。根据《洁净厂房设计规范》规章规定，对工作认为比较合适的低照度作了统计，其结果略高于150lx。

在集成电路的制造过程中,被加工的是单一的硅片,从原材料到产品需要进行几百道物理、化学加工工序,其间如果遭受污染,就会引起产品大量报废,例如64 MDR***,在制造过程中,空气中尘埃粒径应被控制在0.035μm以下;环境微振动值应控制在4.5X10-3mm/s以下,在光刻工序,很小的微振动会引起对位不准,影响产品的成品率。其他如精密机械加工、光学器件检测、激光实验、超薄金属轧制以及理化实验等都需要对微振动进行控制。战后半个世纪是现代科技高速发展的时期,人类经过半个世纪的努力,无论在农业、工业、、生物、宇宙探索、环境以及基本理论研究等方面,都取得了伟大的成就。