洁净室规范-服务至上“本信息长期有效”

关于精密仪器测量洁净车间实验室装修设计的通风设计，建议换气次数为：1 000级nv≮50；10 000级nv≮25；100 000级nv≮15单向流洁净室送风量以房间截面平均风速为准来计算：Q2=3600u F（3）。其中F—垂直于气流的房间截面积，m2；υ—截面平均风速，m/s。《洁净厂房设计规范》G***073-2001中规定：洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的大值：补偿室内排风量和保持室内正压所需的新鲜空气量之和；保证供给洁净室内的新鲜空气量应不小于40m3/（h.人）。

空气分子控制主要应对空气分子污染(AMC)，这类污染的控制要比粒子污染困难许多。说到粒子污染的控制，先要确定粒子的粒径与个数，然后才能进行相应的设计。只是对于空气分子污染，需要控制的除了芯片线宽外，还有工艺、设备、材料与传送系统等，所以这类污染的控制一直就是业界的难题。总体上来说，正是因为很难有效控制空气分子污染，致使该问题成为了影响相关产品成品率的重要问题。

洁净实验室设计时，预先考虑和计算好机械设备占用面积很重要，在设计阶段，要秉持灵活性原则，为未来发展需要做好准备，这样的实验室设计方案更利于进一步的扩张和修改，以及添加新设备和工具。洁净实验室设计要求墙壁管道系统可容纳较多的管道、电力设施。

洁净实验室设计要求气闸能帮助小化和防止可能影响工作流程的压力变化。因为洁净室内可能存在大量灰尘、污垢颗粒、***化学物质和其他污染物等。