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陶经理 先生
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发布时间:2020-07-20 07:24:55
湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。洁净室的内部装修所用的材料和组件应符合设计要求,不符合要求的外购件应符合质量和标准。对于硅片生产佳温度范围为35—45%。
***室防静电卷材地板① 材料要求:***室地板必须要满足抗静电性能要求,选用抗拉强度25~35MPa,体积电阻、表面电阻104Ω~107Ω,半衰期小于1s,磨耗量、陷度等指标均要符合有关标准要求,采用配套粘结剂及地板焊条。② 施工工艺:基层检查、清理→分格弹线→刷胶→铺贴→开槽→焊缝→清洗打腊→验收。③ 质量控制要求。洁净室中的温湿度控制洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。
洁净实验室设计要求给洁净室加压,使洁净室保持在大气压的静压下,并设置空气压力梯度,使空气从清洁区域向非清洁区域流动。(注:正压差在一种情况下有所例外:即蒸镀机构在处理某些***物质时要求房间处于负压)。洁净实验室设计要求在可能的情况下更换绝缘材料并在必要时安装电力技术。让洁净室管理人员进行静态审核以识别潜在问题以及可能导致问题的原因非常重要。用有一定强度和刚度的表面光洁的轻质板材做成八字形风道,隔墙高2。
实验室净化工程为客户提供的是一站式“交钥匙”工程,降低了采购成本,可减少客户大量的精力、物力和人力的投入,客户无需考虑过多的技术细节问题。有了整体实验室净化工程解决方案,就如同为客户提供一个统一的界面,将所有的设备供应商、工程承包商、服务供应商整合在一起,系统化的进行设备配置,保证了整个实验室的容量和设备间的配套,满足当前和未来发展的需要。成品保护后续工序施工时,地板面需盖上干净的布匹,防止损坏和污染。
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